Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой класс миниатюрных устройств и систем, изготовленных с помощью микрообработки процессов. Главный критерий при создании МЭМС – их размер. Обычно он не превышает 1 мм. Технологии МЭМС являются предшественником…
Картинка Vecstock, Freepik В микроэлектронике существует весьма интересный раздел, который рассматривает так называемые микросистемные элементы, в качестве которых выступают разнообразные микроустройства, объединённые с системами приёма/передачи/обработки информации. В этой статье мы рассмотрим методы создания подобных элементов, а также кратко рассмотрим их виды. Читать дальше →
При разработке устройств, в которых необходимо оценивать углы ориентации, может встать вопрос — какой МЭМС датчик выбрать. Производители датчиков приводят множество параметров, из которых нам требуется получить полезную информацию о качестве датчика. Чтобы понять, на какие…
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Сейчас довольно трудно встретить системы в которых не используются датчики, выполненные по данной технологии. Но как устроены современные датчики и какие преобразователи используются для работы с ними? Постараемся детально разобраться в этом вопросе, основываясь на работе современных МЭМС-акселерометров. Читать дальше →