Магнетронное распыление — технология нанесения тонких плёнок на подложку полупроводниковых гетероэпитаксиальных структур с помощью испарения мишени в плазме магнетронного разряда. О них мы и поговорим в сегодняшнем материале. Читать далее
PLD или pulse laser deposition – технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью импульсного лазерного луча. О ней мы и поговорим в сегодняшнем материале. Читать далее
Direct laser writing (DLW) или лазерное письмо – технология получения компонентов полупроводниковых, оптических и других устройств с помощью сфокусированных лазерных лучей. Её также называют multiphoton lithography и иногда direct laser lithography. О ней мы и поговорим в сегодняшнем материале. Читать далее
Atomic Layer Deposition (ALD) – технология получения сверхтонких нанопленок для полупроводниковых, оптических и других устройств с помощью послойного атомного осаждения. О ней мы и поговорим в нашем сегодняшнем материале. Читать далее