PLD или pulse laser deposition – технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью импульсного лазерного луча. О ней мы и поговорим в сегодняшнем материале. Читать далее
Магнетронное распыление — технология нанесения тонких плёнок на подложку полупроводниковых гетероэпитаксиальных структур с помощью испарения мишени в плазме магнетронного разряда. О них мы и поговорим в сегодняшнем материале. Читать далее
Direct laser writing (DLW) или лазерное письмо – технология получения компонентов полупроводниковых, оптических и других устройств с помощью сфокусированных лазерных лучей. Её также называют multiphoton lithography и иногда direct laser lithography. О ней мы и поговорим в сегодняшнем материале. Читать далее
Вакуумное напыление (англ. physical vapor deposition, PVD; напыление конденсацией из паровой (газовой) фазы) — группа методов напыления покрытий (тонких плёнок) в вакууме, при которых покрытие получается путём прямой конденсации пара наносимого материала. Различают следующие стадии…